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DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)

該鍍膜機(jī)為前開(kāi)門(mén)箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，該鍍膜機(jī)功能強(qiáng)、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復(fù)性好、操作簡(jiǎn)便。適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜，高性能薄膜研究及新材料科學(xué)研究工作。

　　鍍膜機(jī)的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造，工藝規(guī)范、精致，具有高真空度、高清潔度，可以保證材料的成膜純度。

　　采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組，具有抽速快、無(wú)油、操作方便快捷、易于維護(hù)的特點(diǎn)。配備270°E型電子束蒸發(fā)源，電源穩(wěn)定，控制精度高，帶有高壓自動(dòng)滅弧復(fù)位裝置，操做簡(jiǎn)便，性能可靠。

　　適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。

　　◆ 鍍膜室體積：500mmX500mmX600mm；

　　◆ 極限真空度：6.7X10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7X0-4 Pa （40分鐘）；

　　◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與分子泵組成；

　　◆ 真空測(cè)量系統(tǒng)：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)；

　　◆ 蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：E型電子槍?zhuān)β?～6KW可調(diào)；電阻蒸發(fā)源：功率3kW/10V兩組；

　　◆ 工件烘烤溫度：室溫～350℃可控可調(diào)（PID控溫）；

　　◆ 選配件：光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x、石英晶振測(cè)厚儀、高壓離子轟擊、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等；

　　◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz。

　　◆ 特殊規(guī)格可定制。

DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)DH500ZZS使用說(shuō)明書(shū)

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